中微半導體設備（上海）股份有限公司成立于2004年，其自成立以來，就致力為集成電路和泛半導體行業提供各種高質量產品和優質服務，發展至今，現也具有自主的研發科技，歷來也曾先后申請了1200多項專利，也曾入選2022中國創新力企業50強榜單。