華海清科
華海清科股份有限公司是一家擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商,主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù),主要產(chǎn)品為化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)設(shè)備。公司的主要產(chǎn)品為擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的CMP設(shè)備。公司也榮獲“天津市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)(技術(shù)發(fā)明)一等獎(jiǎng)”、“中國(guó)機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)(技術(shù)發(fā)明)特等獎(jiǎng)”、“2018年度、2019年度中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎(jiǎng)”、“中國(guó)好設(shè)計(jì)金獎(jiǎng)”等榮譽(yù)。截至2021年12月31日,公司擁有國(guó)內(nèi)外授權(quán)專利209項(xiàng),其中發(fā)明專利114項(xiàng)、實(shí)用新型專利95項(xiàng),擁有軟件著作權(quán)7項(xiàng);公司CMP設(shè)備已累計(jì)出貨超140臺(tái),未發(fā)出產(chǎn)品的在手訂單超70臺(tái),設(shè)備已廣泛應(yīng)用于中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、英特爾、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、廈門聯(lián)芯、廣州粵芯、上海積塔等國(guó)內(nèi)外先進(jìn)集成電路制造商的大生產(chǎn)線中。